Koolstoftetrafluoried (CF4)

Tegniese parameters

Koolstoftetrafluoried is 'n gehalogeneerde koolwaterstof met die chemiese formule CF4. Dit kan beskou word as 'n gehalogeneerde koolwaterstof, gehalogeneerde metaan, perfluorkoolstof, of as 'n anorganiese verbinding. Koolstoftetrafluoried is 'n kleurlose en reuklose gas, onoplosbaar in water, oplosbaar in benseen en chloroform. Stabiel onder normale temperatuur en druk, vermy sterk oksidante, vlambare of brandbare materiale. Nie-brandbare gas, die interne druk van die houer sal toeneem wanneer dit aan hoë hitte blootgestel word, en daar is 'n gevaar van krake en ontploffing. Dit is chemies stabiel en nie-vlambaar. Slegs vloeibare ammoniak-natriummetaalreagens kan by kamertemperatuur werk. Koolstoftetrafluoried is 'n gas wat die kweekhuiseffek veroorsaak. Dit is baie stabiel, kan lank in die atmosfeer bly, en is 'n baie kragtige kweekhuisgas. Koolstoftetrafluoried word gebruik in die plasma-etsproses van verskeie geïntegreerde stroombane. Dit word ook as 'n lasergas gebruik, en word gebruik in lae-temperatuur koelmiddels, oplosmiddels, smeermiddels, isolerende materiale en koelmiddels vir infrarooi detektors. Dit is die mees gebruikte plasma-etsgas in die mikro-elektroniese industrie. Dit is 'n mengsel van hoësuiwer tetrafluormetaangas en hoësuiwer tetrafluormetaangas en hoësuiwer suurstof. Dit kan wyd gebruik word in silikon, silikondioksied, silikonnitried en fosfosilikaatglas. Die ets van dunfilmmateriale soos wolfram en wolfram word ook wyd gebruik in die oppervlakskoonmaak van elektroniese toestelle, sonselproduksie, lasertegnologie, laetemperatuurverkoeling, lekinspeksie en skoonmaakmiddel in gedrukte stroombaanproduksie. Word gebruik as 'n lae-temperatuur koelmiddel en plasma droë ets tegnologie vir geïntegreerde stroombane. Voorsorgmaatreëls vir berging: Berg in 'n koel, geventileerde nie-brandbare gaspakhuis. Hou weg van vuur en hittebronne. Die bergingstemperatuur moet nie 30°C oorskry nie. Dit moet apart gestoor word van maklik (brandbare) brandbare stowwe en oksidante, en vermy gemengde berging. Die stoorarea moet toegerus wees met lekkasie noodbehandelingstoerusting.

Aansoek:

① Koelmiddel:

Tetrafluormetaan word soms as 'n lae temperatuur koelmiddel gebruik.

② Ets:

Dit word gebruik in elektroniese mikrovervaardiging alleen of in kombinasie met suurstof as 'n plasma-etsmiddel vir silikon, silikondioksied en silikonnitried.

Normale pakket:

Voordeel:

① Hoë suiwerheid, nuutste fasiliteit;

②ISO-sertifikaatvervaardiger;

③ Vinnige aflewering;

④ Aanlyn-analisestelsel vir kwaliteitsbeheer in elke stap;

⑤ Hoë vereiste en noukeurige proses vir die hantering van silinder voor vul;