Koolstoftetrafluoried (CF4)

Tegniese Parameters

Koolstoftetrafluoried is 'n gehalogeneerde koolwaterstof met die chemiese formule CF4. Dit kan beskou word as 'n gehalogeneerde koolwaterstof, gehalogeneerde metaan, perfluorkoolstof, of as 'n anorganiese verbinding. Koolstoftetrafluoried is 'n kleurlose en reuklose gas, onoplosbaar in water, oplosbaar in benseen en chloroform. Stabiel onder normale temperatuur en druk, vermy sterk oksidante, vlambare of brandbare materiale. Nie-brandbare gas, die interne druk van die houer sal toeneem wanneer dit aan hoë hitte blootgestel word, en daar is 'n gevaar van krake en ontploffing. Dit is chemies stabiel en nie-vlambaar. Slegs vloeibare ammoniak-natriummetaalreagens kan by kamertemperatuur werk. Koolstoftetrafluoried is 'n gas wat die kweekhuiseffek veroorsaak. Dit is baie stabiel, kan lank in die atmosfeer bly, en is 'n baie kragtige kweekhuisgas. Koolstoftetrafluoried word gebruik in die plasma-etsproses van verskeie geïntegreerde stroombane. Dit word ook as 'n lasergas gebruik, en word gebruik in lae-temperatuur koelmiddels, oplosmiddels, smeermiddels, isolerende materiale en koelmiddels vir infrarooi detektors. Dit is die mees gebruikte plasma-etsgas in die mikro-elektronika-industrie. Dit is 'n mengsel van tetrafluormetaan hoësuiwerheidsgas en tetrafluormetaan hoësuiwerheidsgas en hoësuiwerheidssuurstof. Dit kan wyd gebruik word in silikon, silikondioksied, silikonnitried en fosfosilikaatglas. Die etsing van dunfilmmateriale soos wolfram en wolfram word ook wyd gebruik in die oppervlakreiniging van elektroniese toestelle, sonselproduksie, lasertegnologie, laetemperatuur-verkoeling, lekinspeksie en skoonmaakmiddel in gedrukte stroombaanproduksie. Word gebruik as 'n laetemperatuur-koelmiddel en plasma-droë-etstegnologie vir geïntegreerde stroombane. Voorsorgmaatreëls vir berging: Bêre in 'n koel, geventileerde, nie-brandbare gaspakhuis. Hou weg van vuur en hittebronne. Die bergingstemperatuur moet nie 30°C oorskry nie. Dit moet apart van maklik (brandbare) brandbare stowwe en oksidante gestoor word, en gemengde berging vermy. Die bergingsarea moet toegerus wees met lekkasie-noodbehandelingstoerusting.

Toepassing:

① Koelmiddel:

Tetrafluormetaan word soms as 'n laetemperatuur-koelmiddel gebruik.

② Etswerk:

Dit word in elektroniese mikrovervaardiging alleen of in kombinasie met suurstof as 'n plasma-etsmiddel vir silikon, silikondioksied en silikonnitried gebruik.

Normale pakket:

Voordeel:

①Hoë suiwerheid, nuutste fasiliteit;

②ISO-sertifikaatvervaardiger;

③ Vinnige aflewering;

④Aanlyn-analisestelsel vir gehaltebeheer in elke stap;

⑤Hoë vereiste en noukeurige proses vir die hantering van silinder voor vulling;