Ultra-hoë suiwerheid (UHP) gasse is die lewensbloed van die halfgeleierbedryf. Aangesien ongekende vraag en ontwrigtings aan wêreldwye voorsieningskettings die prys van ultra-hoë drukgas verhoog, verhoog nuwe halfgeleierontwerp en vervaardigingspraktyke die vlak van besoedelingsbeheer wat nodig is. Vir halfgeleiervervaardigers is dit belangriker om te verseker dat die suiwerheid van UHP -gas belangriker is as ooit.

Ultra -hoë suiwerheid (UHP) gasse is absoluut krities in moderne vervaardiging van halfgeleiers

Een van die belangrikste toepassings van UHP -gas is ineerstelling: UHP -gas word gebruik om 'n beskermende atmosfeer rondom halfgeleierkomponente te bied, en sodoende te beskerm teen die skadelike gevolge van vog, suurstof en ander kontaminante in die atmosfeer. Inertisering is egter slegs een van die vele verskillende funksies wat gasse in die halfgeleierbedryf verrig. Van primêre plasma-gasse tot reaktiewe gasse wat in ets en uitgloeiing gebruik word, word ultra-hoë drukgasse vir baie verskillende doeleindes gebruik en is dit noodsaaklik in die halfgeleiervoorsieningsketting.

Sommige van die “kern” -gasse in die halfgeleierbedryf sluit instikstof(gebruik as algemene skoonmaak en inerte gas),argon(gebruik as die primêre plasmasgas in ets- en afsettingsreaksies),helium(gebruik as 'n inerte gas met spesiale hitte-oordragseienskappe) enwaterstof(speel verskeie rolle in uitgloeiing, afsetting, epitaksie en plasma -skoonmaak).

Namate halfgeleiertegnologie ontwikkel en verander het, het die gasse ook in die vervaardigingsproses gebruik. Vandag gebruik halfgeleiervervaardigingsaanlegte 'n wye verskeidenheid gasse, van edele gasse soosKryptonenneonvir reaktiewe spesies soos stikstoftrifluoried (NF 3) en wolframheksafluoried (WF 6).

Groeiende vraag na suiwerheid

Sedert die uitvinding van die eerste kommersiële mikroskyfie, het die wêreld gesien hoe 'n verstommende byna eksponensiële toename in die uitvoering van halfgeleiertoestelle. Die afgelope vyf jaar was een van die sekerste maniere om hierdie soort prestasieverbetering te bewerkstellig deur 'grootte -skaal': die vermindering van sleutelafmetings van bestaande chipargitekture om meer transistors in 'n gegewe ruimte te druk. Daarbenewens het die ontwikkeling van nuwe chipargitekture en die gebruik van die nuutste materiale sprong in die werkverrigting van die toestel opgelewer.

Die kritieke afmetings van die nuutste halfgeleiers is nou so klein dat die grootte van die grootte nie meer 'n lewensvatbare manier is om die prestasie van die toestel te verbeter nie. In plaas daarvan is halfgeleiernavorsers op soek na oplossings in die vorm van nuwe materiale en 3D -chip -argitekture.

Dekades van onvermoeide herontwerp beteken dat vandag se halfgeleiertoestelle baie kragtiger is as die mikroskyfies van ouds - maar hulle is ook broos. Die koms van 300 mm -wafelvervaardigingstegnologie het die vlak van onreinheidsbeheer wat benodig word vir halfgeleiervervaardiging verhoog. Selfs die geringste besoedeling in 'n vervaardigingsproses (veral seldsame of inerte gasse) kan lei tot katastrofiese toerustingversaking - daarom is gas suiwerheid nou belangriker as ooit.

Vir 'n tipiese halfgeleiervervaardigingsaanleg is gas met 'n ultra-hoë suiwerheid reeds die grootste materiële uitgawe na silikon self. Daar word slegs verwag dat hierdie koste sal styg namate die vraag na halfgeleiers tot nuwe hoogtes styg. Gebeurtenisse in Europa het die gespanne ultra-hoë druk-aardgasmark bykomende ontwrigting veroorsaak. Oekraïne is een van die wêreld se grootste uitvoerders van hoë suiwerheidneontekens; Rusland se inval beteken dat die voorraad van die seldsame gas beperk word. Dit het op sy beurt gelei tot tekorte en hoër pryse van ander edele gasse soosKryptonenxenon.