Waterstofchloriedis 'n kleurlose gas met 'n skerp reuk. Die waterige oplossing word soutsuur genoem, ook bekend as soutsuur. Waterstofchloried is baie oplosbaar in water. By 0 ° C kan 1 volume water ongeveer 500 volumes waterstofchloried oplos.

Dit het die volgende eienskappe en kenmerke:

1. Hoë suiwerheid

Die suiwerheid van elektroniese graadwaterstofchloriedis baie hoog, gewoonlik op PPM of laer vlak, om te verseker dat geen onsuiwerhede in die halfgeleiervervaardigingsproses ingevoer word nie.

2. Inertheid

Dit is 'n chemies inerte gas wat nie op baie ander stowwe reageer nie, wat baie belangrik is om besoedeling van halfgeleiermateriaal en toerusting te voorkom.

3. Hoë stabiliteit

Elektroniese graadwaterstofchloriedOor die algemeen het stabiele chemie om betroubare halfgeleierverwerking te verseker.

In halfgeleierverwerking sluit die belangrikste toepassings van waterstofchloried vir elektroniese graad:

1. Oppervlakte skoonmaak en voorbereiding

As 'n doeltreffende oppervlakskoonmaker, elektroniese graadwaterstofchloriedword gebruik om oksiede en onsuiwerhede van die substraatoppervlak te verwyder om die kwaliteit en suiwerheid van die epitaksiale laag of film te verseker.

2.Pitaksiale groeihulpmiddel

Dit word in die epitaksiale proses gebruik as 'n oppervlakbehandelingsmiddel, en dit help om die kwaliteit van die epitaksiale laag te verbeter, die roosterpassing te verbeter en die vorming van roosterdefekte te verminder.

3. Substraatvoorbehandeling

Voor die voorbereiding van halfgeleiertoestelle, elektroniese graadwaterstofchloriedkan gebruik word om die substraatoppervlak te behandel om 'n stabiele basis te vorm om die hegting tussen die epitaksiale laag en die substraat te verbeter.

4. Afsetting Auxiliêre agent

In die proses van chemiese dampafsetting (CVD) of fisiese dampafsetting (PVD), kan elektroniese graad waterstofchloried gebruik word as 'n gasfase -oordragmedium om deel te neem aan die afsettingreaksie van halfgeleiermateriaal.

5. gasfase-oordragmiddel

As 'n gasfase-oordragmiddel word ander gasvormige voorgangers in die reaksiekamer ingevoer om die afsettingstempo en eenvormigheid van die materiaal aan te pas.

Hierdie eienskappe maak elektroniese graadwaterstofchloried'N Belangrike verwerkingsmiddel in halfgeleiertegnologie, wat 'n belangrike impak op die werkverrigting en betroubaarheid van die finale toestel het.

Benewens die gebruik daarvan in halfgeleierverwerking, kan elektroniese graad waterstofchloried 'n verskeidenheid gebruike in ander gebiede vind, insluitend: voorbereiding van materiale met 'n hoë suiwerheid, brandstofselle, halfgeleiermateriaal, dampfase -litografie, materiaalanalise, chemiese navorsing.

Oor die algemeen, elektroniese graadwaterstofchloriedis 'n veelsydige gas met 'n hoë suiwerheid met 'n wye verskeidenheid toepassings buite die vervaardiging van halfgeleiers.