Waterstofchloriedis 'n kleurlose gas met 'n skerp reuk. Die waterige oplossing daarvan word soutsuur genoem, ook bekend as soutsuur. Waterstofchloried is baie oplosbaar in water. By 0°C kan 1 volume water ongeveer 500 volumes waterstofchloried oplos.

Dit het die volgende eienskappe en kenmerke:

1. Hoë suiwerheid

Die suiwerheid van elektroniese graadwaterstofchloriedis baie hoog, gewoonlik teen dpm of 'n laer vlak, om te verseker dat geen onsuiwerhede in die halfgeleiervervaardigingsproses ingebring word nie.

2. Traagheid

Dit is 'n chemies inerte gas wat nie met baie ander stowwe reageer nie, wat baie belangrik is om kontaminasie van halfgeleiermateriale en toerusting te voorkom.

3. Hoë stabiliteit

Elektroniese graadwaterstofchloriedhet oor die algemeen stabiele chemie om betroubare halfgeleierverwerking te verseker.

In halfgeleierverwerking sluit die hooftoepassings van elektroniese graad waterstofchloried in:

1. Oppervlak skoonmaak en voorbereiding

As 'n doeltreffende oppervlakreiniger, elektroniese graadwaterstofchloriedword gebruik om oksiede en onsuiwerhede van die substraatoppervlak te verwyder om die kwaliteit en suiwerheid van die epitaksiale laag of film te verseker.

2. Epitaksiale groeihulpmiddel

Dit word as 'n oppervlakbehandelingsmiddel in die epitaksiale proses gebruik, en help om die kwaliteit van die epitaksiale laag te verbeter, roosterpassing te verbeter en die vorming van roosterdefekte te verminder.

3. Substraatvoorbehandeling

Voor die voorbereiding van halfgeleiertoestelle, elektroniese graadwaterstofchloriedkan gebruik word om die substraatoppervlak te behandel om 'n stabiele basis te vorm om die adhesie tussen die epitaksiale laag en die substraat te verbeter.

4. Hulpmiddel vir afsetting

In die proses van chemiese dampafsetting (CVD) of fisiese dampafsetting (PVD) kan elektroniese waterstofchloried as 'n gasfase-oordragmedium gebruik word om deel te neem aan die afsettingsreaksie van halfgeleiermateriale.

5. Gasfase-oordragmiddel

As 'n gasfase-oordragmiddel word ander gasvormige voorlopers in die reaksiekamer ingebring om die afsettingstempo en eenvormigheid van die materiaal aan te pas.

Hierdie eienskappe maak elektroniese graadwaterstofchloried'n belangrike verwerkingsagent in halfgeleiertegnologie, wat 'n sleutelimpak het op die werkverrigting en betroubaarheid van die finale toestel.

Benewens die gebruik daarvan in halfgeleierverwerking, kan elektroniese waterstofchloried 'n verskeidenheid gebruike in ander gebiede vind, insluitend: Voorbereiding van hoë suiwerheid materiale, Brandstofselle, Halfgeleiermateriaalgroei, Dampfase litografie, Materiaalanalise, Chemiese Navorsing.

In die algemeen, elektroniese graadwaterstofchloriedis 'n veelsydige, hoë suiwerheid gas wat 'n wye reeks toepassings buite halfgeleiervervaardiging het.