In die vervaardigingsproses van halfgeleierwafelgieterye met relatief gevorderde produksieprosesse, word byna 50 verskillende soorte gasse benodig. Gasse word oor die algemeen verdeel in grootmaat gasse enspesiale gasse.

Toepassing van gasse in mikro-elektronika en halfgeleierbedrywe Die gebruik van gasse het nog altyd 'n belangrike rol in halfgeleierprosesse gespeel, veral halfgeleierprosesse word wyd in verskeie industrieë gebruik. Van ULSI, TFT-LCD tot die huidige mikro-elektromeganiese (MEMS) industrie, word halfgeleierprosesse as produkvervaardigingsprosesse gebruik, insluitend droë-ets, oksidasie, ioon-inplanting, dunfilmafsetting, ens.

Baie mense weet byvoorbeeld dat skyfies van sand gemaak word, maar as mens na die hele proses van skyfievervaardiging kyk, is meer materiale nodig, soos fotoresist, poleervloeistof, teikenmateriaal, spesiale gas, ens. is onontbeerlik. Agter-end-verpakking vereis ook substrate, interposers, loodrame, bindingsmateriaal, ens. van verskeie materiale. Elektroniese spesiale gasse is die tweede grootste materiaal in halfgeleiervervaardigingskoste na silikonwafels, gevolg deur maskers en fotoresists.

Die suiwerheid van gas het 'n deurslaggewende invloed op komponentprestasie en produkopbrengs, en die veiligheid van gasvoorsiening hou verband met die gesondheid van personeel en die veiligheid van fabrieksbedryf. Waarom het die suiwerheid van gas so 'n groot impak op die proseslyn en personeel? Dit is nie 'n oordrywing nie, maar word bepaal deur die gevaarlike eienskappe van die gas self.

Klassifikasie van algemene gasse in die halfgeleierbedryf

Gewone Gas

Gewone gas word ook grootmaatgas genoem: dit verwys na industriële gas met 'n suiwerheidsvereiste laer as 5N en 'n groot produksie- en verkoopsvolume. Dit kan volgens verskillende voorbereidingsmetodes in lugskeidingsgas en sintetiese gas verdeel word. Waterstof (H2), stikstof (N2), suurstof (O2), argon (A2), ens.;

Spesiale gas

Spesialiteitsgas verwys na industriële gas wat in spesifieke velde gebruik word en spesiale vereistes het vir suiwerheid, verskeidenheid en eienskappe. HoofsaaklikSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… en so aan.

Tipes Spesiale gasse

Tipes spesiale gasse: korrosief, giftig, vlambaar, brandondersteunend, inert, ens.
Algemeen gebruikte halfgeleiergasse word soos volg geklassifiseer:
(i) Korrosief/giftig:HCl、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2、BCl3…
(ii) Vlambaar: H2、CH4、SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO...
(iii) Brandbaar: O2, Cl2, N2O, NF3...
(iv) Inert: N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、Hy…

In die proses van vervaardiging van halfgeleierskyfies word ongeveer 50 verskillende soorte spesiale gasse (na verwys as spesiale gasse) gebruik in oksidasie, diffusie, afsetting, ets, inspuiting, fotolitografie en ander prosesse, en die totale prosesstappe oorskry honderde. Byvoorbeeld, PH3 en AsH3 word gebruik as fosfor- en arseenbronne in die ioon-inplantingsproses, F-gebaseerde gasse CF4, CHF3, SF6 en halogeengasse CI2, BCI3, HBr word algemeen in die etsproses gebruik, SiH4, NH3, N2O in die afsetting film proses, F2/Kr/Ne, Kr/Ne in die fotolitografie proses.

Uit bogenoemde aspekte kan ons verstaan ​​dat baie halfgeleiergasse skadelik is vir die menslike liggaam. Veral van die gasse, soos SiH4, is selfontbrandend. Solank hulle lek, sal hulle heftig reageer met suurstof in die lug en begin brand; en AsH3 is hoogs giftig. Enige geringe lekkasie kan skade aan mense se lewens veroorsaak, so die vereistes vir die veiligheid van die beheerstelselontwerp vir die gebruik van spesiale gasse is besonder hoog.

Halfgeleiers vereis hoë-suiwer gasse om "drie grade" te hê

Gas suiwerheid

Die inhoud van onsuiwerheid atmosfeer in die gas word gewoonlik uitgedruk as 'n persentasie van gas suiwerheid, soos 99,9999%. Oor die algemeen bereik die suiwerheidsvereiste vir elektroniese spesiale gasse 5N-6N, en word ook uitgedruk deur die volumeverhouding van onsuiwerheidsatmosfeerinhoud ppm (deel per miljoen), ppb (deel per biljoen) en ppt (deel per triljoen). Die elektroniese halfgeleierveld het die hoogste vereistes vir die suiwerheid en kwaliteitstabiliteit van spesiale gasse, en die suiwerheid van elektroniese spesiale gasse is oor die algemeen groter as 6N.

Droogte

Die inhoud van spoorwater in die gas, of natheid, word gewoonlik uitgedruk in doupunt, soos atmosferiese doupunt -70 ℃.

Netheid

Die aantal besoedelende deeltjies in die gas, deeltjies met 'n deeltjiegrootte van µm, word uitgedruk in hoeveel deeltjies/M3. Vir saamgeperste lug word dit gewoonlik uitgedruk in mg/m3 onvermydelike vaste residue, wat olie-inhoud insluit.