In die vervaardigingsproses van halfgeleier -wafel -gieterye met relatief gevorderde produksieprosesse, is byna 50 verskillende soorte gasse nodig. Gasse word oor die algemeen in grootmaatgasse verdeel enSpesiale gasse.

Toepassing van gasse in mikro -elektronika en halfgeleierbedrywe Die gebruik van gasse het nog altyd 'n belangrike rol gespeel in halfgeleierprosesse, veral halfgeleierprosesse word wyd in verskillende bedrywe gebruik. Van ULSI, TFT-LCD tot die huidige mikro-elektromeganiese (MEMS) industrie, word halfgeleierprosesse gebruik as produkvervaardigingsprosesse, insluitend droë ets, oksidasie, iooninplanting, dun filmafsetting, ens.

Baie mense weet byvoorbeeld dat skyfies van sand is, maar as u na die hele proses van chipvervaardiging kyk, is meer materiale nodig, soos fotoresist, poleer vloeistof, teikenmateriaal, spesiale gas, ens. Is onontbeerlik. Back-end-verpakking benodig ook substrate, interposers, loodrame, bindingsmateriaal, ens. Van verskillende materiale. Elektroniese spesiale gasse is die tweede grootste materiaal in die vervaardigingskoste van halfgeleier na silikonwafels, gevolg deur maskers en fotoresiste.

Die suiwerheid van gas het 'n deurslaggewende invloed op komponentprestasie en produkopbrengs, en die veiligheid van gasvoorsiening hou verband met die gesondheid van personeel en die veiligheid van fabrieksoperasie. Waarom het die suiwerheid van gas so 'n groot impak op die proseslyn en personeel? Dit is nie 'n oordrywing nie, maar word bepaal deur die gevaarlike eienskappe van die gas self.

Klassifikasie van algemene gasse in die halfgeleierbedryf

Gewone gas

Gewone gas word ook grootmaatgas genoem: dit verwys na industriële gas met 'n suiwerheidsvereiste laer as 5N en 'n groot produksie- en verkoopsvolume. Dit kan volgens verskillende voorbereidingsmetodes in lugskeidingsgas en sintetiese gas verdeel word. Waterstof (H2), stikstof (N2), suurstof (O2), argon (A2), ens.;

Spesialiteitsgas

Spesialiteitsgas verwys na industriële gas wat in spesifieke velde gebruik word en het spesiale vereistes vir suiwerheid, verskeidenheid en eiendomme. VernaamlikSih4, PH3, B2H6, A8H3,HCl, CF4,NH3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... ensovoorts.

Tipes Spical -gasse

Tipes spesiale gasse: korrosief, giftig, vlambaar, verbrandingsondersteuning, inert, ens.
Algemeen gebruikte halfgeleiergasse word soos volg geklassifiseer:
(i) Korrosief/giftig:HCl、 Bf3 、 wf6 、 hbr 、 sih2cl2 、 nh3 、 ph3 、 cl2 、BCL3...
(ii) vlambaar: H2 、CH4、Sih4、 PH3 、 ASH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO ...
(iii) brandbaar: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3 ...
(iv) inert: n2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Hy ...

In die proses van die vervaardiging van halfgeleierskyfies word ongeveer 50 verskillende soorte spesiale gasse (verwys as spesiale gasse) gebruik in oksidasie, diffusie, afsetting, ets, inspuiting, fotolithografie en ander prosesse, en die totale prosesstappe oorskry honderde. Byvoorbeeld, pH3 en ASH3 word as fosfor- en arseenbronne in die iooninplantingsproses gebruik, F-gebaseerde gasse CF4, CHF3, SF6 en Halogen Gases CI2, BCI3, HBR word gereeld gebruik in die etsproses, SIH4, NH3, N2O in die afsettingsfilmproses, F2/KR/NE, KR/NE in die fotolithografie-proses.

Uit bogenoemde aspekte kan ons verstaan ​​dat baie halfgeleiergasse skadelik is vir die menslike liggaam. In die besonder is sommige van die gasse, soos SIH4, self-ontduikend. Solank hulle lek, sal hulle gewelddadig met suurstof in die lug reageer en begin brand; en Ash3 is baie giftig. Enige effense lekkasie kan mense se lewens skade berokken, dus is die vereistes vir die veiligheid van die ontwerpstelselontwerp vir die gebruik van spesiale gasse veral groot.

Halfgeleiers benodig gasse met 'n hoë suiwerheid om 'drie grade' te hê

Gas suiwerheid

Die inhoud van onreinheidsatmosfeer in die gas word gewoonlik uitgedruk as 'n persentasie gas suiwerheid, soos 99.9999%. Oor die algemeen bereik die suiwerheidsvereiste vir elektroniese spesiale gasse 5N-6N, en word dit ook uitgedruk deur die volume-verhouding van onreinheidsatmosfeerinhoud PPM (deel per miljoen), PPB (deel per miljard) en PPT (deel per triljoen). Die elektroniese halfgeleierveld het die grootste vereistes vir die suiwerheid en kwaliteitstabiliteit van spesiale gasse, en die suiwerheid van elektroniese spesiale gasse is oor die algemeen groter as 6N.

Droogheid

Die inhoud van spoorwater in die gas, of natheid, word gewoonlik in dauwpunt uitgedruk, soos atmosferiese dauwpunt -70 ℃.

Sindelikheid

Die aantal besoedelende deeltjies in die gas, deeltjies met 'n deeltjiegrootte van µm, word uitgedruk in hoeveel deeltjies/m3. Vir saamgeperste lug word dit gewoonlik uitgedruk in Mg/M3 van onvermydelike soliede residue, wat olie -inhoud insluit.