Die grootste hoeveelheid elektroniese spesiale gas - stikstof trifluoride NF3

Ons land se halfgeleierbedryf en paneelbedryf handhaaf 'n hoë vlak van welvaart. Stikstoftrifluoried, as 'n onontbeerlike en grootste spesiale elektroniese gas in die produksie en verwerking van panele en halfgeleiers, het 'n breë markruimte.

Algemeen gebruikte fluoorbevattende spesiale elektroniese gasse sluit inSulfur hexafluoride (SF6), Tungsten Hexafluoride (WF6),Koolstoftetrafluoried (CF4), trifluorometaan (CHF3), stikstof trifluoride (NF3), heksafluoroetaan (C2F6) en octafluoropropane (C3F8). Stikstoftrifluoried (NF3) word hoofsaaklik gebruik as 'n fluoorbron vir waterstoffluoried-fluoriedgas met hoë-energie chemiese lasers. Die effektiewe deel (ongeveer 25%) van die reaksie-energie tussen H2-O2 en F2 kan deur laserstraling vrygestel word, dus HF-van lasers is die belowendste lasers onder chemiese lasers.

Stikstoftrifluoride is 'n uitstekende plasma -etsgas in die mikro -elektroniese industrie. Vir etskeer silikon en silikonnitried het stikstoftrifluoried 'n hoër ets en selektiwiteit as koolstoftetrafluoried en 'n mengsel van koolstoftetrafluoried en suurstof, en het dit geen besoedeling op die oppervlak nie. Veral in die ets van geïntegreerde stroombaanmateriaal met 'n dikte van minder as 1,5um, het stikstoftrifluoried 'n baie uitstekende ets en selektiwiteit, wat geen residu op die oppervlak van die geëtste voorwerp laat nie, en is dit ook 'n baie goeie skoonmaakmiddel. Met die ontwikkeling van nanotegnologie en die grootskaalse ontwikkeling van die elektroniese industrie, sal die vraag daarvan dag vir dag toeneem.

As 'n soort fluoorbevattende spesiale gas, is stikstoftrifluoride (NF3) die grootste elektroniese spesiale gasproduk in die mark. Dit is chemies inert by kamertemperatuur, meer aktief as suurstof, stabieler as fluoor en maklik om te hanteer by hoë temperatuur.

Stikstoftrifluoried word hoofsaaklik gebruik as plasma -etsgas- en reaksiekamer -skoonmaakmiddel, geskik vir vervaardigingsvelde soos halfgeleierskyfies, plat paneelvertonings, optiese vesels, fotovoltaïese selle, ens.

In vergelyking met ander elektroniese gasse met fluoorbevattende, het stikstoftrifluoride die voordele van vinnige reaksie en hoë doeltreffendheid, veral in die ets van silikonbevattende materiale soos silikonnitrid, het dit 'n hoë etsnelheid en selektiwiteit, wat geen residu op die oppervlak van die ete-voorwerp laat nie, en ook 'n baie skoonmaakmiddel is, en dit is nie die poll nie. die behoeftes van die verwerkingsproses.