Elektroniesspesiale gasseis 'n belangrike vertakking van spesiale gasse. Hulle dring byna elke skakel van halfgeleierproduksie binne en is onontbeerlike grondstowwe vir die vervaardiging van elektroniese nywerhede soos ultragrootskaalse geïntegreerde stroombane, platpaneelvertoontoestelle en sonselle.

In halfgeleiertegnologie word fluoorbevattende gasse wyd gebruik. Tans, in die wêreldwye elektroniese gasmark, maak fluoorbevattende elektroniese gasse ongeveer 30% van die totaal uit. Fluoorbevattende elektroniese gasse is 'n belangrike komponent van spesiale elektroniese gasse op die gebied van elektroniese inligtingsmateriaal. Hulle word hoofsaaklik as skoonmaakmiddels en etsmiddels gebruik, en kan ook gebruik word as doteermiddels, filmvormende materiale, ens. In hierdie artikel sal die skrywer jou neem om die algemene fluoorbevattende gasse te verstaan.

Die volgende is algemeen gebruikte fluoorbevattende gasse

Stikstoftrifluoried (NF3): 'n Gas wat gebruik word om afsettings skoon te maak en te verwyder, wat gewoonlik gebruik word vir die skoonmaak van reaksiekamers en toerustingoppervlaktes.

Swaelheksafluoried (SF6): 'n Fluoreringsmiddel wat in oksiedafsettingsprosesse gebruik word en as 'n isolasiegas vir die vul van isolasiemedia.

Waterstoffluoried (HF): Word gebruik om oksiede van die silikonoppervlak te verwyder en as 'n etsmiddel om silikon en ander materiale te ets.

Stikstoffluoried (NF): Word gebruik om materiale soos silikonnitried (SiN) en aluminiumnitried (AlN) te ets.

Trifluormetaan (CHF3) entetrafluormetaan (CF4): Word gebruik om fluoriedmateriale soos silikonfluoried en aluminiumfluoried te ets.

Fluoorbevattende gasse hou egter sekere gevare in, insluitend toksisiteit, korrosiwiteit en vlambaarheid.

Toksisiteit

Sommige fluoorbevattende gasse is giftig, soos waterstoffluoried (HF), waarvan die damp hoogs irriterend is vir die vel en lugweë en skadelik vir menslike gesondheid is.

Korrosiwiteit

Waterstoffluoried en sommige fluoriede is hoogs bytend en kan ernstige skade aan die vel, oë en asemhalingskanaal veroorsaak.

Vlambaarheid

Sommige fluoriede is vlambaar en reageer met suurstof of water in die lug om intense hitte en giftige gasse vry te stel, wat brand of ontploffing kan veroorsaak.

Hoëdruk gevaar

Sommige gefluoreerde gasse is plofbaar onder hoë druk en vereis spesiale sorg wanneer dit gebruik en gestoor word.

Impak op die omgewing

Fluoorbevattende gasse het hoë atmosferiese leeftyd en GWP-waardes, wat 'n vernietigende effek op die atmosferiese osoonlaag het en aardverwarming en omgewingsbesoedeling kan veroorsaak.

Die toepassing van gasse in opkomende velde soos elektronika word steeds verdiep, wat 'n groot hoeveelheid nuwe vraag na industriële gasse meebring. Op grond van die groot hoeveelheid nuwe produksievermoë van groot elektroniese komponente soos halfgeleiers en vertoonpanele op die vasteland van China in die volgende paar jaar, sowel as die sterk vraag na invoervervanging van elektroniese chemiese materiale, sal die binnelandse elektroniese gasbedryf inlui 'n hoë groeikoers.