ElektroniesSpesiale gasseis 'n belangrike tak van spesiale gasse. Dit dring byna elke skakel van halfgeleierproduksie deur en is onontbeerlike grondstowwe vir die vervaardiging van elektroniese nywerhede soos ultra-grootskaalse geïntegreerde stroombane, platpaneelvertoningstoestelle en sonkragselle.

In halfgeleiertegnologie word fluoorbevattende gasse wyd gebruik. Tans is dit ongeveer 30% van die totaal in die wêreldwye elektroniese gasmark, ongeveer 30% van die totaal. Fluoorbevattende elektroniese gasse is 'n belangrike komponent van spesiale elektroniese gasse op die gebied van elektroniese inligtingsmateriaal. Dit word hoofsaaklik gebruik as skoonmaakmiddels en etsmiddels, en kan ook gebruik word as dopmiddels, filmvormende materiale, ens. In hierdie artikel sal die skrywer u neem om die algemene fluoorbevattende gasse te verstaan.

Die volgende word gereeld gebruik met fluoorbevattende gasse

Stikstoftrifluoried (NF3): 'n gas wat gebruik word vir die skoonmaak en verwydering van afsettings, wat gewoonlik gebruik word vir die skoonmaak van reaksiekamers en toerustingoppervlaktes.

Sulfur hexafluoride (SF6): 'N fluorinerende middel wat gebruik word in oksiedafsettingsprosesse en as 'n isolerende gas vir die vul van isolerende media.

Waterstoffluoried (HF): Word gebruik om oksiede uit die silikonoppervlak te verwyder en as etse vir ets silikon en ander materiale.

Stikstoffluoried (NF): gebruik om materiale soos silikonnitried (SIN) en aluminiumnitride (ALN) te ets.

Trifluorometaan (CHF3) entetrafluorometaan (CF4): Word gebruik om fluoriedmateriaal soos silikonfluoried en aluminiumfluoried te ets.

Fluoorbevattende gasse hou egter sekere gevare in, insluitend toksisiteit, korrosiwiteit en vlambaarheid.

Toksisiteit

Sommige gasse met fluoorbevattende is giftig, soos waterstoffluoried (HF), waarvan die damp baie irriterend is vir die vel en asemhalingskanaal en skadelik is vir die gesondheid van die mens.

Korrosiwiteit

Waterstoffluoried en sommige fluoriede is baie korrosief en kan die vel, oë en asemhalingskanaal ernstige skade berokken.

Vlambaarheid

Sommige fluoriede is vlambaar en reageer met suurstof of water in die lug om intense hitte en giftige gasse vry te laat, wat brand of ontploffing kan veroorsaak.

Hoë drukgevaar

Sommige gefluorineerde gasse is plofbaar onder hoë druk en benodig spesiale sorg wanneer dit gebruik en geberg word.

Impak op die omgewing

Fluoorbevattende gasse het hoë atmosferiese leeftyd en GWP-waardes, wat 'n vernietigende effek op die atmosferiese osoonlaag het en aardverwarming en omgewingsbesoedeling kan veroorsaak.

Die toediening van gasse in ontluikende velde soos elektronika verdiep steeds, wat 'n groot hoeveelheid nuwe vraag na industriële gasse meebring. Op grond van die groot hoeveelheid nuwe produksievermoë van belangrike elektroniese komponente soos halfgeleiers en vertoonpanele in die vasteland van China in die volgende paar jaar, sowel as die sterk vraag na die invoer van elektroniese chemiese materiale, sal die binnelandse elektroniese gasbedryf 'n hoë groeitempo inloer.