Elektroniesspesiale gasseis 'n belangrike tak van spesiale gasse. Hulle dring deur byna elke skakel van halfgeleierproduksie en is onontbeerlike grondstowwe vir die produksie van elektroniese nywerhede soos ultra-grootskaalse geïntegreerde stroombane, platskermtoestelle en sonselle.

In halfgeleiertegnologie word fluorbevattende gasse wyd gebruik. Tans maak fluorbevattende elektroniese gasse ongeveer 30% van die totaal uit in die globale elektroniese gasmark. Fluoorbevattende elektroniese gasse is 'n belangrike komponent van spesiale elektroniese gasse op die gebied van elektroniese inligtingsmateriaal. Hulle word hoofsaaklik as skoonmaakmiddels en etsmiddels gebruik, en kan ook as doteermiddels, filmvormende materiale, ens. gebruik word. In hierdie artikel sal die outeur jou lei om die algemene fluorbevattende gasse te verstaan.

Die volgende is algemeen gebruikte fluoorbevattende gasse

Stikstoftrifluoried (NF3): 'n Gas wat gebruik word vir die skoonmaak en verwydering van neerslae, gewoonlik gebruik vir die skoonmaak van reaksiekamers en toerustingoppervlaktes.

Swaelheksafluoried (SF6)'n Fluoreringsmiddel wat in oksiedafsettingsprosesse en as 'n isolerende gas vir die vul van isolerende media gebruik word.

Waterstoffluoried (HF): Word gebruik om oksiede van die silikonoppervlak te verwyder en as 'n etsmiddel vir die ets van silikon en ander materiale.

Stikstoffluoried (NF): Word gebruik om materiale soos silikonnitried (SiN) en aluminiumnitried (AlN) te ets.

Trifluormetaan (CHF3) entetrafluormetaan (CF4)Word gebruik om fluoriedmateriale soos silikonfluoried en aluminiumfluoried te ets.

Fluoorbevattende gasse het egter sekere gevare, insluitend toksisiteit, korrosiwiteit en vlambaarheid.

Toksisiteit

Sommige fluoorbevattende gasse is giftig, soos waterstoffluoried (HF), waarvan die damp hoogs irriterend vir die vel en asemhalingskanaal is en skadelik vir menslike gesondheid is.

Korrosiwiteit

Waterstoffluoried en sommige fluoriede is hoogs korrosief en kan ernstige skade aan die vel, oë en asemhalingskanaal veroorsaak.

Ontvlambaarheid

Sommige fluoriede is vlambaar en reageer met suurstof of water in die lug om intense hitte en giftige gasse vry te stel, wat brand of ontploffing kan veroorsaak.

Hoëdrukgevaar

Sommige gefluoreerde gasse is plofbaar onder hoë druk en vereis spesiale sorg wanneer dit gebruik en gestoor word.

Impak op die omgewing

Fluoorbevattende gasse het hoë atmosferiese lewensduur en GWP-waardes, wat 'n vernietigende effek op die atmosferiese osoonlaag het en aardverwarming en omgewingsbesoedeling kan veroorsaak.

Die toepassing van gasse in opkomende velde soos elektronika bly verdiep, wat 'n groot hoeveelheid nuwe vraag na industriële gasse meebring. Gebaseer op die groot hoeveelheid nuwe produksiekapasiteit van belangrike elektroniese komponente soos halfgeleiers en vertoonpanele in die vasteland van China in die volgende paar jaar, sowel as die sterk vraag na invoervervanging van elektroniese chemiese materiale, sal die plaaslike elektroniese gasbedryf 'n hoë groeikoers inlui.