Wat iskoolstoftetrafluoriedWat is die nut daarvan?
Koolstoftetrafluoried, ook bekend as tetrafluormetaan, word as 'n anorganiese verbinding beskou. Dit word gebruik in die plasma-etsproses van verskeie geïntegreerde stroombane, en word ook as lasergas en koelmiddel gebruik. Dit is relatief stabiel onder normale temperatuur en druk, maar dit is nodig om kontak met sterk oksidante, vlambare of brandbare materiale te vermy. Koolstoftetrafluoried is 'n nie-brandbare gas. As dit hoë hitte teëkom, sal dit veroorsaak dat die interne druk van die houer toeneem, en daar is 'n gevaar van krake en ontploffing. Gewoonlik kan dit slegs by kamertemperatuur met vloeibare ammoniak-natriummetaalreagens interaksie hê.
Koolstoftetrafluoriedis tans die grootste plasma-etsgas wat in die mikro-elektronika-industrie gebruik word. Dit kan wyd gebruik word in die etsing van silikon, silikondioksied, fosfosilikaatglas en ander dunfilmmateriale, die skoonmaak van die oppervlak van elektroniese toestelle, sonselproduksie, lasertegnologie, gasfase-isolasie, lae-temperatuur verkoeling, lekdeteksiemiddels en skoonmaakmiddels in gedrukte stroombaanproduksie het 'n groot aantal toepassings.
Plasingstyd: 1 Nov 2021





