Komponent | 99.9999% | Eenheid |
Suurstof (Ar) | ≤0.1 | dpmV |
Stikstof | ≤0.1 | dpmV |
Waterstof | ≤20 | dpmV |
Helium | ≤10 | dpmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | dpmV |
THC | ≤0.1 | dpmV |
Chlorosilane | ≤0.1 | dpmV |
Disiloksaan | ≤0.1 | dpmV |
Disilaan | ≤0.1 | dpmV |
Vog (H2O) | ≤0.1 | dpmV |
Silaan is 'n verbinding van silikon en waterstof. Dit is 'n algemene term vir 'n reeks verbindings, insluitend monosilaan (SiH4), disilaan (Si2H6) en sommige hoër-vlak silikon-waterstofverbindings. Onder hulle is monosilaan die algemeenste, soms kortweg silaan genoem. Silaan is 'n kleurlose gas met 'n walglike reuk van knoffel. Oplosbaar in water, amper onoplosbaar in etanol, eter, benseen, chloroform, silikonchloroform en silikontetrachloried. Die chemiese eienskappe van silane is baie meer aktief as alkane en word maklik geoksideer. Spontane ontbranding kan plaasvind wanneer dit in kontak met lug is. Dit reageer nie met stikstof onder 25°C nie, en reageer nie met koolwaterstofverbindings by kamertemperatuur nie. Vuur en ontploffing van silaan is die gevolg van reaksie met suurstof. Silaan is uiters sensitief vir suurstof en lug. Silaan met 'n sekere konsentrasie sal ook plofbaar met suurstof reageer by 'n temperatuur van -180°C. Silaan het die belangrikste spesiale gas geword wat in halfgeleier-mikro-elektronika prosesse gebruik word, en word gebruik in die voorbereiding van verskeie mikro-elektroniese films, insluitend enkelkristalfilms, mikrokristallyne, polikristallyne, silikonoksied, silikonnitried en metaalsilicides. Die mikro-elektroniese toepassings van silaan ontwikkel steeds in diepte: lae-temperatuur epitaksie, selektiewe epitaksie en heteroepitaksiale epitaksie. Nie net vir silikontoestelle en geïntegreerde silikonstroombane nie, maar ook vir saamgestelde halfgeleiertoestelle (galliumarsenied, silikonkarbied, ens.). Dit het ook toepassings in die voorbereiding van superrooster-kwantumputmateriale. Daar kan gesê word dat silaan in byna alle gevorderde geïntegreerde stroombaanproduksielyne in moderne tye gebruik word. Die toepassing van silaan as 'n silikonbevattende film en bedekking het uitgebrei van die tradisionele mikro-elektroniese industrie na verskeie velde soos staal, masjinerie, chemikalieë en optika. Nog 'n potensiële toepassing van silaan is die vervaardiging van hoëprestasie-keramiek-enjinonderdele, veral die gebruik van silaan om silisied (Si3N4, SiC, ens.) te vervaardig. Mikropoeiertegnologie het al hoe meer aandag getrek.
①Elektronies:
Silaan word aangewend op polikristallyne silikonlae op silikonwafers wanneer halfgeleiers en seëlmiddels vervaardig word.
②Sonkrag:
Silaan word gebruik in die vervaardiging van sonfotovoltaïese modules.
③Industrieel:
Dit word gebruik in energiebesparende groen glas en toegepas op die dampafsettingsdunfilmproses.
Produk | Silaan SiH4 Vloeistof | |
Pakketgrootte | 47 liter silinder | Y-440L |
Vul netto gewig/silinder | 10 kg | 125 kg |
HOEVEELHEID Gelaai in 20' Houer | 250 silinders | 8 Silinders |
Totale Netto Gewig | 2.5 Ton | 1 ton |
Silinder Tarra Gewig | 52 kg | 680 kg |
Klep | CGA632/DISS632 |
①Meer as tien jaar op die mark;
②ISO-sertifikaatvervaardiger;
③ Vinnige aflewering;
④Stabiele grondstofbron;
⑤Aanlyn-analisestelsel vir gehaltebeheer in elke stap;
⑥Hoë vereiste en noukeurige proses vir die hantering van silinder voor vulling;
⑦Suiwerheid: hoë suiwerheid elektroniese graad;
⑧Gebruik: sonselmateriale; maak van hoë suiwerheid polisilikoon, silikonoksied en optiese vesel; gekleurde glasvervaardiging.