Komponent | 99,9999% | Eenheid |
Suurstof (Ar) | ≤0.1 | ppmV |
Stikstof | ≤0.1 | ppmV |
Waterstof | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
Chlorosilane | ≤0.1 | ppmV |
Disiloksaan | ≤0.1 | ppmV |
Disilane | ≤0.1 | ppmV |
Vog (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
Silaan is 'n verbinding van silikon en waterstof. Dit is 'n algemene term vir 'n reeks verbindings, insluitend monosilaan (SiH4), disilaan (Si2H6) en 'n paar hoërvlak silikon-waterstofverbindings. Onder hulle is monosilaan die algemeenste, wat soms kortweg silaan genoem word. Silaan is 'n kleurlose gas met 'n walglike reuk van knoffel. Oplosbaar in water, byna onoplosbaar in etanol, eter, benseen, chloroform, silikonchloroform en silikontetrachloried. Die chemiese eienskappe van silane is baie meer aktief as alkane en word maklik geoksideer. Spontane ontbranding kan plaasvind wanneer dit met lug in aanraking kom. Dit reageer nie met stikstof onder 25°C nie, en reageer nie met koolwaterstofverbindings by kamertemperatuur nie. Vuur en ontploffing van silaan is die gevolg van reaksie met suurstof. Silaan is uiters sensitief vir suurstof en lug. Silaan met 'n sekere konsentrasie sal ook plofbaar met suurstof reageer by 'n temperatuur van -180°C. Silaan het die belangrikste spesiale gas geword wat in halfgeleier-mikro-elektroniese prosesse gebruik word, en word gebruik in die voorbereiding van verskeie mikro-elektroniese films, insluitend enkelkristalfilms, mikrokristallyne, polikristallyne, silikonoksied, silikonnitried en metaalsilicides. Die mikro-elektroniese toepassings van silaan ontwikkel steeds in diepte: lae-temperatuur epitaksie, selektiewe epitaksie en heteroepitaksiale epitaksie. Nie net vir silikontoestelle en silikongeïntegreerde stroombane nie, maar ook vir saamgestelde halfgeleiertoestelle (galliumarsenied, silikonkarbied, ens.). Dit het ook toepassings in die voorbereiding van superrooster-kwantumputmateriale. Daar kan gesê word dat silaan in byna alle gevorderde geïntegreerde stroombaanproduksielyne in moderne tye gebruik word. Die toepassing van silaan as 'n silikonbevattende film en deklaag het uitgebrei van die tradisionele mikro-elektroniese industrie na verskeie velde soos staal, masjinerie, chemikalieë en optika. Nog 'n potensiële toepassing van silaan is die vervaardiging van hoëprestasie keramiekenjinonderdele, veral die gebruik van silaan om silicide (Si3N4, SiC, ens.) mikropoeiertegnologie te vervaardig het al hoe meer aandag getrek.
①Elektronies:
Silaan word toegedien op polikristallyne silikonlae op silikonwafels wanneer halfgeleiers en seëlmiddels vervaardig word.
② Sonkrag:
Silaan word gebruik in die vervaardiging van sonkragfotovoltaïese modules.
③ Industrieel:
Dit word gebruik in energiebesparende groen glas en toegepas op dampneerslag dun film proses.
Produk | Silaan SiH4 vloeistof | |
Pakketgrootte | 47L silinder | Y-440L |
Vulsel Netto Gewig/Syl | 10 kg | 125 kg |
AANTAL Gelaai in 20'houer | 250 Sil | 8 sill |
Totale netto gewig | 2,5 ton | 1 ton |
Silinder tarra gewig | 52 kg | 680 kg |
Klep | CGA632/DISS632 |
①Meer as tien jaar op die mark;
②ISO-sertifikaatvervaardiger;
③ Vinnige aflewering;
④ Stabiele bron van grondstowwe;
⑤ Aanlyn-analisestelsel vir kwaliteitsbeheer in elke stap;
⑥ Hoë vereiste en noukeurige proses vir die hantering van silinder voor vul;
⑦Suiwerheid: hoë suiwer elektroniese graad;
⑧Gebruik: sonselmateriaal; die maak van hoë suiwer polisilicon, silikonoksied en optiese vesel; gekleurde glas vervaardiging.