Boortrichloried (BCl3)is 'n anorganiese verbinding wat algemeen gebruik word in droë-ets- en chemiese dampafsettingsprosesse (CVD) in halfgeleiervervaardiging. Dit is 'n kleurlose gas met 'n sterk, skerp reuk by kamertemperatuur en is sensitief vir vogtige lug omdat dit hidroliseer om soutsuur en boorsuur te produseer.

Toepassings van Boortrichloried

In die halfgeleierbedryf,Boortrichloriedword hoofsaaklik gebruik vir droë etsing van aluminium en as 'n doteermiddel om P-tipe streke op silikonwafers te vorm. Dit kan ook gebruik word om materiale soos GaAs, Si, AlN te ets, en as 'n boorbron in sekere spesifieke toepassings. Daarbenewens word boortrichloried wyd gebruik in metaalverwerking, glasbedryf, chemiese analise en laboratoriumnavorsing.

Veiligheid van Boortrichloried

Boortrichloriedis korrosief en giftig en kan ernstige skade aan die oë en vel veroorsaak. Dit hidroliseer in vogtige lug om giftige waterstofchloriedgas vry te stel. Daarom moet toepaslike veiligheidsmaatreëls getref word tydens hantering.Boortrichloried, insluitend die dra van beskermende klere, 'n veiligheidsbril en asemhalingsbeskermingstoerusting, en die werk in 'n goed geventileerde omgewing.