Boron Trichloride (BCL3)is 'n anorganiese verbinding wat gereeld gebruik word in droë ets- en chemiese dampafsetting (CVD) prosesse in halfgeleiervervaardiging. Dit is 'n kleurlose gas met 'n sterk skerp reuk by kamertemperatuur en is sensitief vir vogtige lug omdat dit hidroliseer om soutsuur en boorsuur te produseer.

Aansoeke van Boron Trichloride

In die halfgeleierbedryf,Boor Trichlorideword hoofsaaklik gebruik vir droë ets van aluminium en as 'n dopmiddel om P-tipe streke op silikonwafels te vorm. Dit kan ook gebruik word om materiale soos GAA's, SI, ALN en as 'n boorbron in sekere spesifieke toepassings te ets. Daarbenewens word boortrichloried wyd gebruik in metaalverwerking, glasbedryf, chemiese analise en laboratoriumnavorsing.

Veiligheid van Boron Trichloride

Boor Trichlorideis korrosief en giftig en kan die oë en vel ernstige skade berokken. Dit hidroliseer in vogtige lug om giftige waterstofchloriedgas vry te stel. Daarom moet toepaslike veiligheidsmaatreëls getref word by die hanteringBoor Trichlorideinsluitend die dra van beskermende klere, bril en toerusting vir asemhalingsbeskerming, en werk in 'n goed geventileerde omgewing.