In 2018 het die wêreldwye elektroniese gasmark vir geïntegreerde stroombane US $ 4,512 miljard bereik, 'n jaar-tot-jaar-toename van 16%. Die hoë groeitempo van die elektroniese spesiale gasbedryf vir halfgeleiers en die groot markgrootte het die binnelandse substitusieplan vir elektroniese spesiale gas versnel!
Wat is elektrongas?
Elektroniese gas verwys na die basiese bronmateriaal wat gebruik word in die produksie van halfgeleiers, plat paneelvertonings, lig-emitterende diodes, sonkragselle en ander elektroniese produkte, en word wyd gebruik in skoonmaak, ets, filmvorming, doping en ander prosesse. Die belangrikste toepassingsareas van elektroniese gas sluit in die elektroniese industrie, sonkragselle, mobiele kommunikasie, motornavigasie en motorklank- en videosisteme, lugvaart, militêre industrie en baie ander velde.
Elektroniese spesiale gas kan in sewe kategorieë verdeel word volgens die eie chemiese samestelling: silikon, arseen, fosfor, boor, metaalhidried, halied en metaalalkoksied. Volgens verskillende toepassingsmetodes in geïntegreerde stroombane, kan dit verdeel word in dopinggas, epitaksie-gas, iooninplantingsgas, lig-emitterende diode-gas, etsgas, chemiese dampafsettingsgas en balansgas. Daar is meer as 110 spesiale gasse wat in die halfgeleierbedryf gebruik word, waarvan meer as 30 gereeld gebruik word.
Oor die algemeen verdeel die halfgeleierproduksiebedryf gasse in twee soorte: gewone gasse en spesiale gasse. Onder hulle verwys die algemeen gebruikte gas na 'n gesentraliseerde toevoer en gebruik baie gas, soos N2, H2, O2, AR, HE, ens. Spesiale gas verwys na sommige chemiese gasse wat gebruik word in die proses van halfgeleierproduksie, soos verlenging, iooninspuiting, vermenging, wasgoed en masker, wat ons nou elektroniese spesiale gas noem, soos SIH4, PH3, Ash3, B2H, N2, N2, soos SIH4, PH3, Ash3, B2H, N2, N2, soos SIH4, PH3, Ash3, B2H, N2 NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, ens.
In die hele produksieproses van die halfgeleierbedryf, van chipgroei tot die finale toestelverpakking, is byna elke skakel onlosmaaklik van elektroniese spesiale gas, en die verskeidenheid gas wat gebruik word en hoë kwaliteit vereistes, dus het elektroniese gas halfgeleiermateriaal. “Kos”.
In onlangse jare het China se belangrikste elektroniese komponente soos halfgeleiers en vertoonpanele in nuwe produksievermoë toegeneem, en daar is 'n sterk vraag na die invoer van elektroniese chemiese materiale. Die posisie van elektroniese gasse in die halfgeleierbedryf het toenemend prominent geword. Die binnelandse elektroniese gasbedryf sal vinnige groei inlei.
Elektroniese spesiale gas het baie hoë vereistes vir suiwerheid, want as die suiwerheid nie aan die vereistes voldoen nie, sal die onreinheidsgroepe soos waterdamp en suurstof in die elektroniese spesiale gas maklik oksiedfilm vorm op die oppervlak van die halfgeleier, wat die lewensduur van elektroniese toestelle beïnvloed, en die elektroniese spesiale gasbeskadiging bevat. Daar kan gesê word dat die verbetering van suiwerheid 'n belangrike rol speel in die opbrengs en prestasie van elektroniese toestelproduksie.
Met die voortdurende ontwikkeling van die halfgeleierbedryf, verbeter die chipvervaardigingsproses, en nou het dit 5nm bereik, wat op die punt is om die limiet van Moore se wet te benader, wat gelykstaande is aan die een twintigste van die deursnee van 'n menslike hare (ongeveer 0,1 mm). Daarom stel dit ook hoër vereistes aan die suiwerheid van die elektroniese spesiale gas wat deur halfgeleiers geproduseer word.
Postyd: Desember-15-2021
