In 2018 het die wêreldwye elektroniese gasmark vir geïntegreerde stroombane VS$4,512 miljard bereik, 'n jaar-tot-jaar toename van 16%. Die hoë groeikoers van die elektroniese spesiale gasbedryf vir halfgeleiers en die enorme markgrootte het die binnelandse vervangingsplan van elektroniese spesiale gas versnel!
Wat is elektrongas?
Elektroniese gas verwys na die basiese bronmateriaal wat gebruik word in die produksie van halfgeleiers, platskermskerms, lig-emitterende diodes, sonselle en ander elektroniese produkte, en word wyd gebruik in skoonmaak, ets, filmvorming, doping en ander prosesse. Die belangrikste toepassingsgebiede van elektroniese gas sluit in die elektroniese industrie, sonselle, mobiele kommunikasie, motornavigasie en motor-klank- en videostelsels, lugvaart, militêre industrie en baie ander velde.
Elektroniese spesiale gas kan volgens sy eie chemiese samestelling in sewe kategorieë verdeel word: silikon, arseen, fosfor, boor, metaalhidried, halied en metaalalkoksied. Volgens verskillende toepassingsmetodes in geïntegreerde stroombane kan dit verdeel word in doteringsgas, epitaksiegas, iooninplantingsgas, lig-emitterende diodegas, etsgas, chemiese dampafsettingsgas en balansgas. Daar is meer as 110 eenhede spesiale gasse wat in die halfgeleierbedryf gebruik word, waarvan meer as 30 algemeen gebruik word.
Oor die algemeen verdeel die halfgeleierproduksiebedryf gasse in twee tipes: algemene gasse en spesiale gasse. Onder hulle verwys die algemeen gebruikte gas na 'n gesentraliseerde toevoer en gebruik baie gas, soos N2, H2, O2, Ar, He, ens. Spesiale gas verwys na sommige chemiese gasse wat in die proses van halfgeleierproduksie gebruik word, soos verlenging, iooninspuiting, vermenging, was en maskervorming, wat ons nou elektroniese spesiale gas noem, soos hoë suiwerheid SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, ens.
In die hele produksieproses van die halfgeleierbedryf, van die groei van die skyfie tot die finale verpakking van die toestel, is byna elke skakel onafskeidbaar van die elektroniese spesiale gas, en die verskeidenheid gas wat gebruik word en hoë kwaliteitsvereistes, daarom het elektroniese gas halfgeleiermateriale. "Kos".
In onlangse jare het China se belangrikste elektroniese komponente soos halfgeleiers en vertoonpanele in nuwe produksiekapasiteit toegeneem, en daar is 'n sterk vraag na invoervervanging van elektroniese chemiese materiale. Die posisie van elektroniese gasse in die halfgeleierbedryf het toenemend prominent geword. Die plaaslike elektroniese gasbedryf sal vinnige groei inlui.
Elektroniese spesiale gas het baie hoë vereistes vir suiwerheid, want as die suiwerheid nie aan die vereistes voldoen nie, sal die onsuiwerheidsgroepe soos waterdamp en suurstof in die elektroniese spesiale gas maklik 'n oksiedfilm op die oppervlak van die halfgeleier vorm, wat die lewensduur van elektroniese toestelle beïnvloed, en die elektroniese spesiale gas wat die onsuiwerhede bevat, kan halfgeleierkortsluitings en stroombaanskade veroorsaak. Daar kan gesê word dat die verbetering van suiwerheid 'n belangrike rol speel in die opbrengs en werkverrigting van elektroniese toestelproduksie.
Met die voortdurende ontwikkeling van die halfgeleierbedryf verbeter die skyfievervaardigingsproses steeds, en dit het nou 5 nm bereik, wat amper die limiet van Moore se Wet nader, wat gelykstaande is aan een-twintigste van die deursnee van 'n menslike haar (ongeveer 0.1 mm). Dit stel dus ook hoër vereistes aan die suiwerheid van die elektroniese spesiale gas wat deur halfgeleiers geproduseer word.
Plasingstyd: 15 Desember 2021
