In 2018 het die wêreldwye elektroniese gasmark vir geïntegreerde stroombane VS$4,512 miljard bereik, 'n jaar-tot-jaar-toename van 16%.Die hoë groeikoers van die elektroniese spesiale gasbedryf vir halfgeleiers en die groot markgrootte het die binnelandse vervangingsplan van elektroniese spesiale gas versnel!
Wat is elektrongas?
Elektroniese gas verwys na die basiese bronmateriaal wat gebruik word in die vervaardiging van halfgeleiers, platpaneelskerms, ligdiodes, sonselle en ander elektroniese produkte, en word wyd gebruik in skoonmaak, ets, filmvorming, doping en ander prosesse.Die belangrikste toepassingsgebiede van elektroniese gas sluit in die elektroniese industrie, sonselle, mobiele kommunikasie, motornavigasie en motorklank- en videostelsels, lugvaart, militêre industrie en vele ander velde.
Elektroniese spesiale gas kan volgens sy eie chemiese samestelling in sewe kategorieë verdeel word: silikon, arseen, fosfor, boor, metaalhidried, halied en metaalalkoksied.Volgens verskillende aanwendingsmetodes in geïntegreerde stroombane kan dit verdeel word in dopingsgas, epitaksiegas, ioon-inplantingsgas, lig-emitterende diodegas, etsgas, chemiese dampneerslaggas en balansgas.Daar is meer as 110 eenhede spesiale gasse wat in die halfgeleierbedryf gebruik word, waarvan meer as 30 algemeen gebruik word.
Oor die algemeen verdeel die halfgeleierproduksiebedryf gasse in twee tipes: gewone gasse en spesiale gasse.Onder hulle verwys die algemeen gebruikte gas na 'n gesentraliseerde toevoer en gebruik baie gas, soos N2, H2, O2, Ar, He, ens. Spesiale gas verwys na sommige chemiese gasse wat in die proses van halfgeleierproduksie gebruik word, soos bv. verlenging, iooninspuiting, vermenging, was en maskervorming, wat ons nou elektroniese spesiale gas noem, soos hoë-suiwer SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, ens.
In die hele produksieproses van die halfgeleierbedryf, van skyfiegroei tot die finale toestelverpakking, is byna elke skakel onafskeidbaar van elektroniese spesiale gas, en die verskeidenheid gas wat gebruik word en hoë kwaliteit vereistes, so elektroniese gas het halfgeleiermateriaal."Kos".
In onlangse jare het China se belangrikste elektroniese komponente soos halfgeleiers en vertoonpanele in nuwe produksiekapasiteit toegeneem, en daar is 'n sterk vraag na invoervervanging van elektroniese chemiese materiale.Die posisie van elektroniese gasse in die halfgeleierbedryf het al hoe meer prominent geword.Die binnelandse elektroniese gasbedryf sal vinnige groei inlui.
Elektroniese spesiale gas het baie hoë vereistes vir suiwerheid, want as die suiwerheid nie aan die vereistes voldoen nie, sal die onsuiwerheidsgroepe soos waterdamp en suurstof in die elektroniese spesiale gas maklik oksiedfilm op die oppervlak van die halfgeleier vorm, wat die dienslewe van elektroniese toestelle, en die elektroniese spesiale gas bevat Die deeltjies van onsuiwerhede kan halfgeleierkortsluitings en stroombaanskade veroorsaak.Daar kan gesê word dat die verbetering van suiwerheid 'n belangrike rol speel in die opbrengs en prestasie van elektroniese toestelproduksie.
Met die voortdurende ontwikkeling van die halfgeleierbedryf, gaan die chipvervaardigingsproses aan om te verbeter, en nou het dit 5nm bereik, wat op die punt staan om die grens van Moore se wet te nader, wat gelykstaande is aan een-twintigste van die deursnee van 'n menslike haar ( ongeveer 0,1 mm).Daarom stel dit ook hoër vereistes aan die suiwerheid van die elektroniese spesiale gas wat deur halfgeleiers vervaardig word.
Postyd: 15 Desember 2021
