Wolframheksafluoried (WF6) word deur 'n CVD-proses op die oppervlak van die wafer neergelê, wat die metaalverbindingsgate vul en die metaalverbinding tussen lae vorm.
Kom ons praat eers oor plasma. Plasma is 'n vorm van materie wat hoofsaaklik uit vrye elektrone en gelaaide ione bestaan. Dit bestaan wydverspreid in die heelal en word dikwels as die vierde toestand van materie beskou. Dit word die plasmatoestand genoem, ook genoem "Plasma". Plasma het hoë elektriese geleidingsvermoë en het 'n sterk koppeffek met die elektromagnetiese veld. Dit is 'n gedeeltelik geïoniseerde gas, saamgestel uit elektrone, ione, vrye radikale, neutrale deeltjies en fotone. Die plasma self is 'n elektries neutrale mengsel wat fisies en chemies aktiewe deeltjies bevat.
Die eenvoudige verduideliking is dat die molekule onder die werking van hoë energie die Van der Waals-krag, chemiese bindingskrag en Coulomb-krag sal oorkom en as geheel 'n vorm van neutrale elektrisiteit sal aanbied. Terselfdertyd oorkom die hoë energie wat deur die buitekant oorgedra word, die bogenoemde drie kragte. Funksioneel bied elektrone en ione 'n vrye toestand aan, wat kunsmatig gebruik kan word onder die modulasie van 'n magnetiese veld, soos halfgeleier-etsprosesse, CVD-prosesse, PVD-prosesse en IMP-prosesse.
Wat is hoë energie? In teorie kan beide hoë temperatuur en hoë frekwensie RF gebruik word. Oor die algemeen is hoë temperatuur byna onmoontlik om te bereik. Hierdie temperatuurvereiste is te hoog en kan naby die son se temperatuur wees. Dit is basies onmoontlik om in die proses te bereik. Daarom gebruik die bedryf gewoonlik hoëfrekwensie RF om dit te bereik. Plasma RF kan so hoog as 13MHz+ bereik.
Wolframheksafluoried word geplasmaliseer onder die werking van 'n elektriese veld, en dan deur 'n magnetiese veld verdamp. W-atome is soortgelyk aan wintergansvere en val onder die werking van swaartekrag op die grond. Stadig word W-atome in die deurgate neergelê en uiteindelik vol deurgate gevul om metaalverbindings te vorm. Benewens die neerlegging van W-atome in die deurgate, sal hulle ook op die oppervlak van die wafel neergelê word? Ja, beslis. Oor die algemeen kan jy die W-CMP-proses gebruik, wat ons die meganiese slypproses noem om te verwyder. Dit is soortgelyk aan die gebruik van 'n besem om die vloer te vee na swaar sneeu. Die sneeu op die grond word weggevee, maar die sneeu in die gat op die grond sal bly. Af, ongeveer dieselfde.
Plasingstyd: 24 Desember 2021
