Tungsten -heksafluoried (WF6) word op die oppervlak van die wafel deur 'n CVD -proses neergesit, die metaal -interkonneksie -loopgrawe gevul en die metaal -interkonneksie tussen lae gevorm.
Kom ons praat eers oor plasma. Plasma is 'n vorm van materie wat hoofsaaklik uit gratis elektrone en gelaaide ione bestaan. Dit bestaan wyd in die heelal en word dikwels as die vierde toestand van materie beskou. Dit word die plasmastoestand genoem, ook 'plasma' genoem. Plasma het 'n hoë elektriese geleidingsvermoë en het 'n sterk koppelingseffek met elektromagnetiese veld. Dit is 'n gedeeltelik geïoniseerde gas, wat bestaan uit elektrone, ione, vrye radikale, neutrale deeltjies en fotone. Die plasma self is 'n elektries neutrale mengsel wat fisies en chemies aktief deeltjies bevat.
Die eenvoudige verklaring is dat die molekule onder die werking van hoë energie die van der Waals -krag, chemiese bindkrag en coulomb -krag sal oorkom en 'n vorm van neutrale elektrisiteit as geheel sal aanbied. Terselfdertyd oorkom die hoë energie wat deur die buitekant die bogenoemde drie kragte oorkom. Funksie, elektrone en ione bied 'n vrye toestand wat kunsmatig gebruik kan word onder die modulasie van 'n magneetveld, soos halfgeleier -etsproses, CVD -proses, PVD en IMP -proses.
Wat is hoë energie? In teorie kan beide hoë temperatuur en hoë frekwensie RF gebruik word. Oor die algemeen is hoë temperatuur byna onmoontlik om te bereik. Hierdie temperatuurvereiste is te hoog en kan naby die son se temperatuur wees. Dit is basies onmoontlik om in die proses te bereik. Daarom gebruik die bedryf gewoonlik hoëfrekwensie RF om dit te bereik. Plasma RF kan so hoog as 13MHz+bereik.
Tungsten-heksafluoried word geplasma onder die werking van 'n elektriese veld, en dan deur 'n magneetveld gedeponeer. W -atome is soortgelyk aan wintergansvere en val op die grond onder die werking van swaartekrag. Stoom word stadig in die deur gate neergesit en uiteindelik deur gate vol gevul om metaal -onderlinge verbindings te vorm. Benewens die afsetting van W -atome in die deur gate, sal dit ook op die oppervlak van die wafel neergesit word? Ja, beslis. Oor die algemeen kan u die W-CMP-proses gebruik, wat ons die meganiese slypproses noem om te verwyder. Dit is soortgelyk aan die gebruik van 'n besem om die vloer na swaar sneeu te vee. Die sneeu op die grond word weggevee, maar die sneeu in die gat op die grond sal bly. Af, ongeveer dieselfde.
Postyd: Desember 24-2021
